设备尺寸 2300mm *2200mm * 2600mm 处理时间 (1 处缺陷 /片 ,包括定位时间) 30 秒能够处理的面板尺寸范围 13.3" ~100.0" 面板厚度 0.1mm~2.2mm 规格运动精度 ±1um 定位精度 ≤±2um 激光扫描精度 ≤±0.2um Slit精度 ≤±1um 自动聚焦物镜切换中心偏移 ≤±1um 激光参数 X向单次处理范围:1um~50um; Y向单次处理范围:1um~50um 波长:1064&532& 355 nm 处理方式：振镜扫描
SEMISHARE致力全球半导体技术的共享事业，专注于促进中国半导体事业的快速成长，目标成为半导体行业**的total solution供应商。目前在中国设有半导体仪器营销事业群。 SEMISHARE半导体仪器营销事业群立足中国深圳，香港，北京，上海，西安等城市为全中国半导体行业提供全球*先进的半导体检测和工艺设备营销与技术集成服务，助力先进技术的研发。 SEMISHARE拥有热诚，专业的员工和遍及中国的营销及服务网络，快速响应客户需求，提供客户化的产品和端到端的服务，助力客户的成功。目前，SEMISHARE的营销产品和解决方案已经应用于中国100多家客户，服务中国研发机构前50强中的40家。

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